如何看待国家工信部推广分辨率≤65nm、套刻≤8nm 的国产光刻机?

知乎热榜2个月前发布 NIUC!

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官方链接：工业和信息化部关于印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》的通知光源193nm 分辨率≤65nm 套刻≤8nm

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